Вакуумний універсальний пост Вуп-5М - установка для напилення ВУП-5
призначений для одержання плівок із різних матеріалів з високою продуктивністю методом магнетронного розпилення, а також для підготовки об'єктів, що досліджуються за допомогою електронного мікроскопа чи інших аналітичних приладів.
Прилад може бути застосований для досліджень в галузі фізики, хімії, біології, медицини та інших галузях науки і техніки.
Основні переваги та особливості приладу:
універсальність процесу дозволяє отримати плівки металів, сплавів та напівпровідників;
висока швидкість осадження з можливістю її регулювання у межах;
збереження співвідношення компонентів при розпорошенні речовини складного складу;
прилад дозволяє отримати високу адгезію плівок та підкладки;
можливість зміни структури та властивостей плівок;
можливість розпилення кількох матеріалів без розгерметизації обсягу;
невеликий тепловий вплив на оброблювану структуру.
Технічні характеристики
Граничний залишковий тиск у робочому обсязі, Pa:
• з дифузійним насосом та азотною пасткою
• з турбомолекулярним насосом
2×10-4
6×10-4
Діаметр мішені магнетрону, мм 40
Блок живлення DC магнетрону:
• напруга, V
• струм, mA
1100
300
Блок живлення високовольтний:
• напруга, kV
• струм, mA
7
50
Блок термічного випаровування:
• перший випарник, струм, A
• другий випарник, струм, A
200
100
Температура нагрівання підкладки, °C 350
Швидкість обертання підкладки, rpm 5 - 15
Система напуску та стабілізації тиску газу одноканальна (п'єзонатікач)
Розміри робочого об'єму (діаметр×висота), мм 300×300
Маса приладу, кг, не більше 380
Габаритні розміри, мм
• стійка аналітична
• стійка електрична
620×630×1600
620×630×1400
Електричне харчування, V 380 / 220
Потужність, що споживається, kVA 4,5